深圳市天铉真空技术有限公司>热销产品>爱发科涡轮分子泵维修UTM300A-MS
广告
新浪微博
QQ空间
豆瓣网
百度新首页
取消

爱发科涡轮分子泵维修UTM300A-MS

张生 | 来源:深圳市天铉真空技术有限公司 发布时间:2024-01-18
1/6
产品单价
1.00元/个
起订量
1个
供货总量
1222 个
发货期限
自买家付款之日起3天内发货
ULVAC
UTM300A-MS

New Product


涡轮分子泵,带有使用磁悬浮轴承的立控制器。我们有抽速为300~4000 L/s 的型号阵容。控制器单元可以监控运行状态并支持各种通信标准。


特点

  • 泵体和控制器分开。控制器可以监控运行状态并支持各种通信标准。

  • 自由的安装方向。自由的安装方向使系统装置的设计更灵活。

  • 排气速度300L/s~4000L/s的型号阵容。

  • 分子泵转速在25-范围内可变。通过改变转速在腔室中实现压力调节。

  • 高性和安全性。通过了大气冲击试验、急停测试等各种安全性确认试验。

用途

  • 各种设备的主真空排气系统

    - 半导体制造设备
    - 蒸镀设备
    - 溅射设备
    - 研究开发设备
    - 分析设备、实验装置等

    • 主真空泵系统,用于不产生副反应生成物的轻工艺产线的真空系统。

    • 其他的高真空排气系统。

    规格

    Table 1

    ModelUTM300A-MSUTM400A-MSUTM800A-MSUTM1000A-MS
    Inlet portVG100 / ICF152VG150 / ICF203VG200 / ICF253
    Outlet portKF25KF40
    Cooling methodWater
    cooling
    Air
    cooling
    Water
    cooling
    Air
    cooling
    Water
    cooling
    Air
    cooling
    Water
    cooling
    Air
    cooling
    Ultimate pressure *1Pa10-710-8
    Pumping speed *2N2L/s3204208001080
    ArL/s
    HeL/s340360800930
    H2L/s320340700790
    Compression rateN21×109
    He8×104
    H21×1044×103
    Max inlet pressure *3Pa2001.32001.34001.34001.3
    Max outlet pressure *3Pa40040400406654066540
    Rotation speedrpm4500035000
    Start-up time5minutes or less
    Mounting positionIn any desired direction
    Surface treatmentNickel plating
    Cooling waterFlow rateL/min1~31~31~31~3
    PressureMPaG02~0.502~0.502~0.5深圳市天铉真空技术有限公司
    联系人
    张生
    微信
    手机
    13510223365
    邮箱
    传真
    地址
    坪地街道坪西社区盐龙大道越发工业区
    主营产品
    真空计,流量计,真空泵分子泵风囊泵,电路板激光器
    网址
    http://tx1351022.b2b.huangye88.com/m/

    产品中心

    相关内容推荐

    深圳市天铉真空技术有限公司 > 爱发科涡轮分子泵维修UTM300A-MS
    收缩