1.00元/个 | |
1个 | |
1222 个 | |
自买家付款之日起3天内发货 | |
UTM300A-MS |
New Product
涡轮分子泵,带有使用磁悬浮轴承的立控制器。我们有抽速为300~4000 L/s 的型号阵容。控制器单元可以监控运行状态并支持各种通信标准。
泵体和控制器分开。控制器可以监控运行状态并支持各种通信标准。 自由的安装方向。自由的安装方向使系统装置的设计更灵活。 排气速度300L/s~4000L/s的型号阵容。 分子泵转速在25-范围内可变。通过改变转速在腔室中实现压力调节。 高性和安全性。通过了大气冲击试验、急停测试等各种安全性确认试验。特点
各种设备的主真空排气系统 - 半导体制造设备 主真空泵系统,用于不产生副反应生成物的轻工艺产线的真空系统。 其他的高真空排气系统。用途
- 蒸镀设备
- 溅射设备
- 研究开发设备
- 分析设备、实验装置等
Table 1规格
Model UTM300A-MS UTM400A-MS UTM800A-MS UTM1000A-MS Inlet port VG100 / ICF152 VG150 / ICF203 VG200 / ICF253 Outlet port KF25 KF40 Cooling method Water
coolingAir
coolingWater
coolingAir
coolingWater
coolingAir
coolingWater
coolingAir
coolingUltimate pressure *1 Pa 10-7 10-8 Pumping speed *2 N2 L/s 320 420 800 1080 Ar L/s ー He L/s 340 360 800 930 H2 L/s 320 340 700 790 Compression rate N2 1×109 He 8×104 H2 1×104 4×103 Max inlet pressure *3 Pa 200 1.3 200 1.3 400 1.3 400 1.3 Max outlet pressure *3 Pa 400 40 400 40 665 40 665 40 Rotation speed rpm 45000 35000 Start-up time 5minutes or less Mounting position In any desired direction Surface treatment Nickel plating Cooling water Flow rate L/min 1~3 ー 1~3 ー 1~3 ー 1~3 ー Pressure MPaG 02~0.5 ー 02~0.5 ー 02~0.5 ー 深圳市天铉真空技术有限公司
张生
无
13510223365
无
无
坪地街道坪西社区盐龙大道越发工业区
真空计,流量计,真空泵分子泵风囊泵,电路板激光器
http://tx1351022.b2b.huangye88.com/m/