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ULVAC |
UTM-3302 |
Cryo-Plex 16 低温泵
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考虑全面的设计，使得Cryo-Plex 10低温泵可以实现两倍于8寸低温泵的抽速，是理想的洁净、无油高真空排气方案。 标准应用：半导体、空间环境模拟、真空镀膜以及各种研发领域配置灵活支持ANSI、ISO、CF等多种法兰接口用一台M600氦气压缩机可以同时驱动单台或者两台Cryo-Plex10 低温泵，从而节省空间、电能和维护工作。对于需要多台低温泵的大型真空室，是非常理想的选择。标准设计Austin Scientific的Cryo-Plex 系列低温泵、压缩机可以与Helix品牌的CryoTorr系列低温泵、压缩机相互兼容和替换，从而大大方便使升级、维修、交换等服务。 参数 Cryo-Plex 10 - Gas pumping speeds liters/secondAir3,000Water9,000Hydrogen5,000Argon2,500Gas capacities - standard liters @ 5x10-6 TorrHydrogen24Argon2,000ThroughputArgon sccm1,500CrossoverTorr-liters300Cool down time60 Hertz60 MinCryopump measurementsHeight23.9"Weight LBS85Inlet flangeANSI/ISO/CF |
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