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ULVAC UTM-FH/FW 系列磁悬浮分子泵维修 爱发科涡轮泵保养
带你了解涡轮分子泵转子动平衡的重要性,如何减少涡轮分子泵的振动和噪音?
涡轮分子泵的振动是由转子不平衡造成的。
一、涡轮分子泵的转子不平衡重要性
什么是转子不平衡?这是一种由于没有离心力的补偿,振动力和运动传导至轴承上的现象。
涡轮分子泵转子叶片在工作时旋转非常快,过度的不平衡就会有较高的离心力,进而使整体产生位移。
二、涡轮分子泵的转子不平衡主要原因如下:
转子不平衡会带来额外的轴承负载,导致轴承的磨损与损坏。并且还会让泵壳和其他仪器组件的振动增加,产生噪音。
涡轮分子泵严重情况下转子在高转速下将无法运行,造成转子与泵体的损坏。
正因为转子不平衡带来了诸多问题,所以的平衡对于涡轮分子泵的性能来说是关键参数。这就要求真空设备制造商在组装分子泵之前,对于每个转子通过动平衡进行补偿,已达到产品要求。而其中转子动平衡技术,也成为涡轮分子泵等真空产品的核心竞争力。
三、涡轮分子泵的转子动平衡技术
其实每个转子在被铸造加工出来后,都会有不平衡状态。真空设备制造商需要通过动平衡装置对转子进行平衡测试,达到要求后成为合格的转子,组装在涡轮分子泵内。具体流程如下:
以上提到的转子动平衡技术通过安装配重达到补偿,属于正向质量补偿。除此之外,还有一种通过移除材料达到平衡的反向质量补偿法,就是激光动平衡技术。
激光动平衡是由德国普发真空研发的专利技术,它与普通动平衡技术的步骤相同,主要差别在于对不平衡的补偿。激光动平衡技术利用高能脉冲激光烧蚀法,通过局部加热导致材料的气化或者升华,将不平衡的位置进行质量移除。
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